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| 您现在的位置是：产品中心－－P500-ZL-F晶体生长炉(真空晶体炉)
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用途：采用直拉法生长各种单晶体
特点：双层不锈钢水冷炉体结构；高真空、高温生长环境；中频或电阻电源加热。 |
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炉室容积(mm) |
φ500×900 |
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籽晶杆行程(mm)
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400 |
| 籽晶杆拉速(mm/h) |
0.1～10 |
| 籽晶杆转速(r/min)
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1～50 |
| 坩埚杆行程(mm) |
100
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| 坩埚杆最大承载(kg)
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20 |
| 熔料最高温度(℃) |
2200
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| 冷炉极限真空度(Pa) |
7×10-3
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| 充气压力(MPa) |
0.08
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| 冷却水压(MPa) |
0.13～0.18 |
| 冷却水量(T/h) |
5 |
| 电源电压(V) |
3φ380V±10% |
| 中频电源功率(kW) |
50 |
| 中频电源频率(kHz) |
2.5或8～10 |
| 主机外形尺寸(mm) |
800×1280×2600 |
| 控制柜外形尺寸(mm) |
600×600×1600 |
| 主机重量(kg) |
≤1500 |
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