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| 您现在的位置是:产品中心--P60A-600-ZL-W-F
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用途:直拉法生长各种单晶体
特点:卧式结构,炉门环形密封,可靠;具有上称重控径系统;中频电源加热。 |
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炉室直径(mm) |
φ600 |
| 籽晶杆行程(mm) |
300 |
| 籽晶杆拉速(mm/h) |
0.1~10 |
| 籽晶杆快移(mm/min) |
100手动 |
| 籽晶杆转速(r/min) |
1~50 |
| 籽晶杆直径(mm) |
φ10 |
| 坩埚杆行程(mm) |
100 |
| 熔料最高温度(℃) |
2200 |
| 冷炉极限真空度(Pa) |
1.5×10-3 |
| 充气压力(MPa) |
0.08 |
| 冷却水压(MPa) |
0.13~0.18 |
| 冷却水量(T/h) |
5 |
| 冷却水管直径(mm) |
φ25 |
| 电源电压(V) |
3φ380V±10% |
| 中频电源功率(kW) |
50 |
| 中频电源频率(kHz) |
2.5 |
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